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產(chǎn)品概覽 技術(shù)規(guī)格 資料下載 行業(yè)應(yīng)用

針對(duì)失效分析和大樣本研究的原子力顯微鏡


作為一款缺陷形貌分析的精密測(cè)量?jī)x器，其主要目的是對(duì)樣品進(jìn)行缺陷檢測(cè)。而儀器所提供的數(shù)據(jù)不能允許任何錯(cuò)誤的存在。Park NX20這款全球精密的大型樣品原子力顯微鏡，憑借著出色的數(shù)據(jù)準(zhǔn)確性，在半導(dǎo)體和超平樣品行業(yè)中大受贊揚(yáng)。

    
大**的分析功能

Park NX20具備有一無(wú)二的功能，可快速幫助客戶找到產(chǎn)品失效的原因，并幫助客戶制定出更多具有創(chuàng)意的解決方案。

****的精密度為您帶來(lái)高分辨率數(shù)據(jù)，讓您能夠更加專注于工作。與此同時(shí)，真正非接觸掃描模式讓探針**更鋒利、更耐用，無(wú)需為頻繁更換探針而耗費(fèi)大量的時(shí)間和**。

                      易于操作
ParkNX20擁有業(yè)界便捷的設(shè)計(jì)和自動(dòng)界面，讓你在使用時(shí)無(wú)需花費(fèi)大量的時(shí)間和精力，也不用為此而時(shí)時(shí)不停的指導(dǎo)初學(xué)者。借助這一系列特點(diǎn)，您可以更加專注于解決更為重大的問(wèn)題，并為客戶提供及時(shí)且富有洞察力的失效分析報(bào)告。
為FA和研究實(shí)驗(yàn)室提供**的形貌測(cè)量解決方案

樣品側(cè)壁三維結(jié)構(gòu)測(cè)量


NX20的創(chuàng)新架構(gòu)讓您可以檢測(cè)樣品的側(cè)壁和表面，并測(cè)量它們的角度。眾多的功能和用途正是您的創(chuàng)新性研究和敏銳洞察力所必備的。

對(duì)樣品和基片進(jìn)行表面光潔度測(cè)量


表面光潔度測(cè)量是Park NX20的關(guān)鍵應(yīng)用之一，能夠帶來(lái)**的失效分析和質(zhì)量保證。

高分辨率電子掃描模式


QuickStep SCM

掃描式電容顯微鏡


PinPoint AFM
無(wú)摩擦導(dǎo)電原子力顯微鏡

多種獨(dú)有的磚利技術(shù)幫助顧客減少測(cè)試時(shí)間

CrN樣品所做的針尖磨損實(shí)驗(yàn)


通過(guò)對(duì)比重復(fù)掃描情況下探針**的形狀變化，您可以輕易看到Park的真正非接觸模式的優(yōu)勢(shì)所在。

                

AFM測(cè)量


借助真正非接觸模式，探針**在掃描氮化鉻樣品（即探針檢測(cè)樣品）200次后仍可保持鋒利的狀態(tài)。

氮化鉻的表面粗糙且研磨性強(qiáng)，會(huì)讓普通的探針很快變鈍。


低噪聲Z探測(cè)器測(cè)量準(zhǔn)確的樣品表面形貌
沒(méi)有壓電蠕變誤差的真正樣品表面形貌
超低噪聲Z探測(cè)器，噪音水平低于0.02 nm,從而達(dá)到非常精準(zhǔn)樣品形貌成像，沒(méi)有邊沿過(guò)沖無(wú)需校準(zhǔn)。Park NX20在為您提供好的數(shù)據(jù)的同時(shí)也為您節(jié)省了寶貴的時(shí)間。
· 使用低噪聲Z探測(cè)器信號(hào)進(jìn)行臺(tái)階形貌測(cè)量    
· 在大范圍掃描過(guò)程中系統(tǒng)Z向噪音小于0.02 nm
         · 沒(méi)有前沿或后沿過(guò)沖現(xiàn)象
· 無(wú)需校準(zhǔn)，減少設(shè)備維護(hù)成本

Park NX系列原子力顯微鏡



傳統(tǒng)的原子力顯微鏡