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掃描電子顯微鏡 SU3800/SU3900

產(chǎn)品概覽技術(shù)規(guī)格資料下載行業(yè)應(yīng)用

集優(yōu)異性能、操作簡(jiǎn)便性、多樣化功能于一身

日立高新推出的掃描電鏡SU3800/SU3900兼具操作性和擴(kuò)展性，結(jié)合眾多的自動(dòng)化功能，可高效發(fā)揮其高性能。

SU3900標(biāo)配多功能超大樣品倉(cāng)，可應(yīng)對(duì)大型樣品的觀察。

SU3900標(biāo)配多功能超大樣品倉(cāng)，可應(yīng)對(duì)大型樣品的觀察

樣品臺(tái)可搭載超大/超重樣品

· 通過(guò)更換樣品提示，可防止由于與樣品的接觸而損壞設(shè)備或樣品
· 選配樣品交換倉(cāng)，可在主樣品倉(cāng)保持真空的狀態(tài)下快速更換樣品，大大提高了工作效率
· 具備樣品臺(tái)移動(dòng)限制解除功能,提高了自由度*

· 紅外CCD探測(cè)器，提高了樣品臺(tái)移動(dòng)的**性

支持全視野移動(dòng)。SEM MAP支持超大樣品的全視野觀察
· 與GUI聯(lián)合，可配備樣品倉(cāng)室導(dǎo)航相機(jī)
· 覆蓋整個(gè)可觀察區(qū)域
· 支持360度旋轉(zhuǎn)

隨著各種自動(dòng)化功能的強(qiáng)化，操作性能得到了進(jìn)一步優(yōu)化

一個(gè)鼠標(biāo)就能夠輕松操作的簡(jiǎn)約GUI
各種自動(dòng)化功能
· 自動(dòng)調(diào)整算法經(jīng)改良后，等待時(shí)間減少至以往的1/3以下(※S-3700N比例)
· 提高了自動(dòng)聚焦精度
· 搭載Intelligent Filament Technology（IFT）
Multi Zigzag，可實(shí)現(xiàn)多區(qū)域的大視野觀察
Report Creator，可利用獲得的數(shù)據(jù)批量生成數(shù)據(jù)報(bào)告

可提供滿足測(cè)試需求的應(yīng)用解決方案

可滿足多種觀察需求的探測(cè)器
· 搭載高靈敏度UVD*，支持CL觀察
· 高靈敏度半導(dǎo)體式背散射電子探測(cè)器，切換成分/凹凸等多種圖像
配備了多功能超大樣品倉(cāng)，可以搭載多種配件
· SEM/EDS一體化功能*
三維顯示測(cè)量軟件 Hitachi Map 3D*
支持圖像測(cè)量軟件Image pro
*配件

ITEM	SU3800	SU3900
二級(jí)電子分解能	3.0nm（加速電壓30kV、WD=5mm、高真空模式）
15.0nm（加速電壓1kV、WD=5mm、高真空模式）
背散射電子分解能	4.0nm（加速電壓30kV、WD=5mm、低真空模式）
倍率	×5～×300,000（照片倍率*1）
×7～×800,000（實(shí)際顯示倍率*2）
加速電壓	0.3kV～30kV
低真空度設(shè)定	6～650 Pa
圖像位移	±50μm（WD＝10mm）
*大樣品尺寸	200mm直徑	300mm直徑
樣品臺(tái)	X	0～100mm	0～150mm
Y	0～50mm	0～150mm
Z	5～65mm	5～85mm
R	360°連續(xù)
T	－20°～+90°
*大可觀察范圍	130mm直徑（R并用）	200mm直徑（R并用）
*大可觀察高度	80mm（WD=10mm）	130mm（WD=10mm）
電機(jī)驅(qū)動(dòng)	5軸電機(jī)驅(qū)動(dòng)
電子光學(xué)系統(tǒng)	電子槍	中心操控式鎢絲發(fā)射
物像鏡頭光圈	4孔可動(dòng)光圈
檢測(cè)系統(tǒng)	二級(jí)電子檢測(cè)器、高靈敏半導(dǎo)體背散射電子檢測(cè)器
EDX分析WD	WD＝10mm（T.O.A＝35°）
圖像顯示	自動(dòng)光軸調(diào)整功能	自動(dòng)光束調(diào)整（AFS→ABA→AFC→ABCC）
自動(dòng)光軸調(diào)整（實(shí)時(shí)級(jí)別對(duì)齊）
自動(dòng)調(diào)整光束亮度
自動(dòng)圖像調(diào)整功能	自動(dòng)亮度和對(duì)比度控制（ABCC）
自動(dòng)對(duì)焦控制（AFC）
自動(dòng)標(biāo)記和焦點(diǎn)功能（ASF）
自動(dòng)燈絲飽和度調(diào)整（AFS）
自動(dòng)光束對(duì)準(zhǔn)（ABA）
自動(dòng)啟動(dòng)（HV-ON→ABCC→AFC）
操作輔助功能	光機(jī)旋轉(zhuǎn)、動(dòng)態(tài)聚焦、圖像質(zhì)量改善功能、數(shù)據(jù)輸入（點(diǎn)對(duì)點(diǎn)測(cè)量、角度測(cè)量、文本）、預(yù)設(shè)放大、樣品臺(tái)位置導(dǎo)航功能（SEM MAP）、光束標(biāo)記功能
配件	■硬件:軌跡球、操縱桿、操作面板、壓縮機(jī)、高靈敏度操作低空探測(cè)器（UVD）、紅外CCD探測(cè)器、攝像機(jī)導(dǎo)航系統(tǒng)■軟件:SEM數(shù)據(jù)管理器外部通訊接口、3D捕獲、裝置臺(tái)移動(dòng)限制解除功能、EDS集成
配件（外部裝置）	能量散射X射線分析儀（EDS）、波長(zhǎng)色散X射線分析儀（WDS）、各種外部功能臺(tái)（加熱臺(tái)、冷卻臺(tái)、牽引臺(tái)）

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