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產(chǎn)品概覽 技術(shù)規(guī)格 資料下載 行業(yè)應(yīng)用

集優(yōu)異性能、操作簡(jiǎn)便性、多樣化功能于一身


日立高新推出的掃描電鏡SU3800/SU3900兼具操作性和擴(kuò)展性,結(jié)合眾多的自動(dòng)化功能,可高效發(fā)揮其高性能。

SU3900標(biāo)配多功能超大樣品倉(cāng),可應(yīng)對(duì)大型樣品的觀察。





SU3900標(biāo)配多功能超大樣品倉(cāng),可應(yīng)對(duì)大型樣品的觀察


樣品臺(tái)可搭載超大/超重樣品

· 通過(guò)更換樣品提示,可防止由于與樣品的接觸而損壞設(shè)備或樣品
· 選配樣品交換倉(cāng),可在主樣品倉(cāng)保持真空的狀態(tài)下快速更換樣品,大大提高了工作效率
· 具備樣品臺(tái)移動(dòng)限制解除功能,提高了自由度*

· 紅外CCD探測(cè)器,提高了樣品臺(tái)移動(dòng)的**性


支持全視野移動(dòng)。SEM MAP支持超大樣品的全視野觀察
· 與GUI聯(lián)合,可配備樣品倉(cāng)室導(dǎo)航相機(jī)
· 覆蓋整個(gè)可觀察區(qū)域
· 支持360度旋轉(zhuǎn)


                  

隨著各種自動(dòng)化功能的強(qiáng)化,操作性能得到了進(jìn)一步優(yōu)化


一個(gè)鼠標(biāo)就能夠輕松操作的簡(jiǎn)約GUI
各種自動(dòng)化功能
· 自動(dòng)調(diào)整算法經(jīng)改良后,等待時(shí)間減少至以往的1/3以下(※S-3700N比例)
· 提高了自動(dòng)聚焦精度
· 搭載Intelligent Filament Technology(IFT)
Multi Zigzag,可實(shí)現(xiàn)多區(qū)域的大視野觀察
Report Creator,可利用獲得的數(shù)據(jù)批量生成數(shù)據(jù)報(bào)告


                                         

可提供滿足測(cè)試需求的應(yīng)用解決方案


可滿足多種觀察需求的探測(cè)器
· 搭載高靈敏度UVD*,支持CL觀察
· 高靈敏度半導(dǎo)體式背散射電子探測(cè)器,切換成分/凹凸等多種圖像
配備了多功能超大樣品倉(cāng),可以搭載多種配件
· SEM/EDS一體化功能*
三維顯示測(cè)量軟件 Hitachi Map 3D*
支持圖像測(cè)量軟件Image pro
*配件