附近初中生50块一次的qq_午夜亚洲欧美视频_性欧美精品另类_成人电影国内自拍自拍_国产成人无码aⅴ片在线观看导航_双男主真人有车车的软件免费_中文字幕不卡一区每日更新_国产乱子伦精品免费高清_精品一区二区视频网站_在线视频免费永久网站

首頁 >>> 產品目錄 >>> Park原子力顯微鏡 >>> 全自動AFM
自動化原子力顯微鏡 Park NX-TSH
產品概覽 技術規(guī)格 資料下載 行業(yè)應用

專為超大納米平板顯示器測量而設計的自動化原子力顯微鏡（AFM）系統(tǒng)


隨著對大型平板顯示器原子力顯微鏡計量需求的增加，Park NX-TSH通過利用探針掃描器和龍門式氣浮臺的結合，克服了針對大型和重型樣品進行納米計量的巨大挑戰(zhàn)。Park NX-TSH能獲得高分辨率的表面粗糙度測量，臺階高度測量和關鍵尺寸測量。


為OLED面板行業(yè)整片測量，超高尺寸鏡片測量，提供全自動的原子力顯微鏡計量解決方案。

專為OLED面板行業(yè)整片測量，LCD測量提供的全自動探針掃描器解決方案

專為新一代顯示器工廠的應用需求研發(fā)設計


Park原子力顯微鏡公司已經擴展了原子力顯微鏡設備的測量尺寸，Park NX-TSH（龍門架設計平板式探針掃描器）可針對第八代及

大于第八代的所有大型平板顯示器進行測量。專為新一代顯示器工廠的應用需求研發(fā)設計，樣品尺寸可以測2200 mm。


硅片直徑的變化


使用導電原子力顯微鏡，Park NX-TSH 使用可選探針站測量樣品表面，該探針站接觸樣品表面并向小設備或晶圓片上的設備提供電流。

Park NX-TSH用于帶有導電原子力顯微鏡的2D編碼器樣品，通過集成微探針站進行電氣缺陷分析。



Park NX-TSH特點

克服了樣品大小和重量的限制

Park原子力顯微鏡公司新開發(fā)的探針掃描器結合了X、Y和Z掃描器，可以直接移動到所需測量的點。Park NX-TSH可以在X, Y和Z方向掃描探針頭，X- Y方向可達到100μm X 100 μm和Z方向可達到15 μm ，并有靈活的卡盤，以適應超過300毫米的超大超重樣品，用于OLED和LCD大樣品分析。 樣品固定在樣品卡盤上，連接在機架上的探針掃描頭移動到樣品表面的測量位置。 Park NX-TSH的探針掃描頭系統(tǒng)因此克服了樣品固定在樣品卡盤上時候樣品大小和重量的限制。


專為新一代顯示器工廠的應用需求研發(fā)設計，樣品尺寸可以測到2200 mm.


Park NX-TSH 通過利用探針掃描器和龍門式氣浮臺的結合，克服了針對大型和重型樣品進行納米計量的巨大挑戰(zhàn)，可掃描出高分辨率圖像。


具有閉環(huán)雙伺服系統(tǒng)的100μmx 100μm柔性導向XY掃描器


XY掃描器由對稱的二維撓曲和高強度壓電疊層組成，它*小化的面外運動能提供高度的正交掃描，用*快的響應來完成納米尺度上**樣品掃描。XY 掃描器的每個方向是都裝有兩個對稱的低噪聲位置傳感器，在*大的掃描范圍及大樣品掃描時能發(fā)揮高效的正交性。

具有低噪聲位置傳感器的15μm高速Z掃描器


NX-TSH利用其超低噪聲Z檢測器代替了通常使用的非線性Z電壓信號，可為用戶提供高精度測量。業(yè)界優(yōu)越的低噪聲Z檢測器取代了所施加的Z電壓作為形貌信號。 標準Z掃描器由高強度壓電堆驅動，并由撓曲結構引導，具有高共振頻率，可以實現(xiàn)更準確的反饋。使用可選的長距離Z掃描儀，*大Z掃描范圍可從15μm擴展到40μm。

自動測量控制，簡易操作測量更精準！

           
aotomatic-softwareNX-TSH配備自動化軟件，使用測量程序便可獲得**的多點分析，并對懸臂梁調諧、掃描速率、增益和設定點參數進行優(yōu)化設置。

Park人性化設計的軟件可使用戶自由訪問NX-TSH的全部功能并獲得所需的測量值。

創(chuàng)建新的測量程序其實很簡單，從開始創(chuàng)建到能夠自動化運行只需大約10分鐘的時間，而對創(chuàng)建過的程序進行修改的話也只需不到5分鐘。
Park NX-TSH的全自動特征:


? 自動，半自動，手動模式三種模式隨時切換控制
? 提供自動化程序的編輯方法
? 實時監(jiān)控測量過程
? 自動分析所獲得的測量數據

高精度，高效率
自動換針器(ATX)
ATX通過模式識別自動定位針尖，并使用一種新的磁性方法來取放新舊探針。激光光斑通過電動定位技術自動對準。
                            


電離系統(tǒng)可提供更穩(wěn)定的掃描環(huán)境

我們創(chuàng)新的電離系統(tǒng)可快速有效地去除樣品環(huán)境中的靜電荷。 由于該系統(tǒng)始終生成并保持正負離子的理想平衡，因此可以創(chuàng)建一個極其穩(wěn)定的電荷環(huán)境，幾乎不污染周圍區(qū)域，并且將在樣品處理過程中產生意外靜電的風險降至*低。