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研究型原子力顯微鏡


Park XE7配有Park Systems的所有**技術(shù)，而且價格十分親民。與Park Systems的其他上等型號相比，XE7在細節(jié)的設(shè)計上也相當用心，是幫助您準時且不超預算地完成研究的理想之選。


高性能原子力顯微鏡
在同級產(chǎn)品中，Park XE7能夠帶來高納米級分辨率的測量效果。得益于獨特的原子力顯微鏡架構(gòu)，即獨立的XY軸和Z軸柔性掃描器，XE7能夠?qū)崿F(xiàn)平滑、正交且線性的掃描測量，從而**成像和測量樣品的特征。此外，Park所獨有的True Non-Contact?模式還能為您帶來****的圖像效果，探針可以在多次掃描后圖像的分辨率仍不會受影響。
滿足當前和未來的需求
在Park XE7的幫助下，現(xiàn)在與未來皆在您的掌控中。Park XE7帶有業(yè)內(nèi)多種測量模式。這些模式不僅能滿足您目前的需求，也考慮到未來不斷變化的需求。再者，XE7具有市場上*開源的設(shè)計，允許您整合其他附件和儀器，從而滿足您特殊的研究需求。
易于使用
Park XE7擁有簡潔的圖形用戶界面和自動化工具，即便是初學者也可以快速地完成對樣品的掃描。無論是預準直探針、簡單的樣品和探針更換、輕松的激光準直、自上而下的同軸視角以及用戶友好型掃描控制和軟件處理，XE7能夠全力推動研究生產(chǎn)力的提高。
創(chuàng)新研究的經(jīng)濟之選
Park XE7不僅僅是*經(jīng)濟實惠的研究級原子力顯微鏡，也是總體成本*低的原子力顯微鏡。Park XE7中所搭載的True Non-Contact?模式讓用戶無需頻繁更換昂貴的探針**，并且它配有業(yè)內(nèi)*多的掃描模式，兼容性優(yōu)良，讓您可隨時升級系統(tǒng)功能，從而延長產(chǎn)品的使用壽命。

Park XE7通過消除掃描器串擾進行準確的XY掃描

Park Systems的先進串擾消除(XE)掃描系統(tǒng)能夠有效解決上述問題。我們使用了二維柔性平臺專門掃描樣品的XY軸位置，并通過壓電疊堆傳動裝置專門掃描探針懸臂的Z軸位置。用于XY軸掃描的柔性平臺采用了固體鋁材，其具有超高的正交性和出色的平面外運動軌跡。柔性平臺可在XY軸掃描大型樣品（1 kg左右），頻率*高達100 Hz左右。由于XY軸的帶寬要求遠低于Z軸的帶寬要求，因此該掃描速度已然足夠。用于Z軸掃描的壓電疊堆傳動裝置具有大的推拉力和高共振頻率（約10 kHz)。


XE scan system


適用于樣品和探針**的獨立XY軸和Z軸柔性掃描器 

XY flexure scanner


平直正交的XY軸掃描，殘余彎曲低

 XE-Peformence



圖9. (a)表示Park Systems XE系統(tǒng)的背景曲率為零，而(b)是傳統(tǒng)的原子力顯微鏡系統(tǒng)的管式掃描器的典型背景曲率，(c)展示了這些背景曲率的橫截面。
圖9展示了XE系統(tǒng)(a)和傳統(tǒng)原子力顯微鏡(b)掃描硅片時，未處理的成像圖。由于硅片屬于原子級光滑材料，因此圖像中的彎曲大多數(shù)是掃描器所引起的。圖9(c)展示了圖9中(a)(b)圖像的橫截面。由于管式掃描器本身帶有背景曲率，因此當X軸的位置移動15 μm時，平面外移動*大可達80 nm。而在相同的掃描范圍內(nèi)，XE掃描系統(tǒng)的平面外移動則不超過1 nm。XE掃描系統(tǒng)的另一大優(yōu)勢是Z軸伺服回應。圖10是XE掃描系統(tǒng)在無接觸模式下拍下的一個多孔聚合物球體（二乙烯苯）的圖像，其直徑大約為5 μm。由于XE掃描系統(tǒng)的Z軸伺服回應極其精準，探針可以**地沿著聚合物球體上的大曲率以及小孔平面結(jié)構(gòu)移動，而不會壓碎或粘連在其表面上。圖11是Z軸伺服回應在平坦背景上高性能的表現(xiàn)。

     

Best Life, by True Non-Contact? Mode

在True Non-Contact?模式中，探針**與樣品的距離在相互原子力的控制下，被成功地控制在幾納米之間。探針**振動幅度下，大大減少了探針與樣品的接觸，從而完好地保護了探針和樣品。

True Non-Contact? Mode

· 探針磨損更低=高分辨率掃描更長久
· 無損式探針-樣品接觸=樣品變化程度*小
· 避免參數(shù)依賴

Tapping Imaging

· 探針磨損更快=掃描圖像模糊
· 破壞性探針-樣品接觸=樣品受損變化
· 高參數(shù)依賴性

Longer Tip Life and Less Sample Damage

原子力顯微鏡探針的**十分脆弱，這使得它在接觸樣品后會快速變鈍，從而限制原子力顯微鏡的分辨率和圖像的質(zhì)量。對于材質(zhì)較軟的樣品，探針會破壞樣品，導致其高度測量不準確。相應地，探針保持完整性意味著顯微鏡可以持續(xù)提供高分辨率的**數(shù)據(jù)。XE系列原子力顯微鏡的真正非接觸模式能夠極大程度保護探針，從而延長其壽命，并減少對于樣品的破壞。下圖中以1:1的長寬比展示了XE系列原子力顯微鏡掃描淺溝道隔離樣品的未處理圖像，該樣品的深度由掃描電子顯微鏡(SEM)確定。在成像20次之后，探針幾乎有沒任何磨損。