集多功能于一體的原子力顯微鏡
Park XE15原子力顯微鏡具有眾多的獨特功能,是處理多種樣品的共享實驗室、進行多變量實驗的研究院以及晶片故障分析工程師的理想選擇。同時,合理的價格和穩(wěn)健的功能使之成為業(yè)內認可的大型樣品原子力顯微鏡之一。
MultiSample?(多重采樣?)掃描器帶來便捷樣品測量
Park XE15能夠一次性掃描和測量多個樣品,讓您的效率提高。您只需要將樣品放入工作臺,再啟動掃描程序便可。該功能也可以讓您在相同的環(huán)境條件下掃描樣品,從而提高數據的**性和穩(wěn)定性。
可掃描大件樣品
與大多數的原子力顯微鏡不同,Park XE15可掃描尺寸為200 mm x 200 mm的樣品。這樣既滿足了研究員對掃描大樣品的需求,也讓故障分析工程師能夠掃描硅片。
功能齊全,可滿足各種需求
Park XE15配有絕大多數的掃描模式,可掃描各種尺寸的樣品。得益于此,Park XE15是共用實驗室的*佳配置,能夠滿足每個人的需求。
Park XE15 MultiSample?掃描系統(tǒng)
· 全機動XY軸樣品臺,行程范圍達150 mm x 150 mm
借助電動樣品臺,MultiSample?掃描模式能夠允許用戶自行編程,借助自動化步進掃描,實現多區(qū)域成像。
6.重復掃描
XE scan system
XY flexure scanner
圖9. (a)表示 Park Systems XE系統(tǒng)的背景曲率為零,(b)是傳統(tǒng)的原子力顯微鏡系統(tǒng)的管式掃描器的典型背景曲率, (c)展示了這些背景曲率的橫截面。 圖9展示了XE系統(tǒng)(a)和傳統(tǒng)原子力顯微鏡(b)掃描硅片時,未處理的成像圖。由于硅片屬于原子級光滑材料,因此圖像中的彎曲大多數是掃描器所引起的。圖9(c)展示了圖9中(a)(b)圖像的橫截面。由于管式掃描器本身帶有背景曲率,因此當X軸的位置移動15 μm時,平面外移動*大可達80 nm。而在相同的掃描范圍內,XE掃描系統(tǒng)的平面外移動則不超過1 nm。XE掃描系統(tǒng)的另一大優(yōu)勢是Z軸伺服回應。圖10是XE掃描系統(tǒng)在無接觸模式下拍下的一個多孔聚合物球體(二乙烯苯)的圖像,其直徑大約為5 μm。由于XE掃描系統(tǒng)的Z軸伺服回應極其精準,探針可以**地沿著聚合物球體上的大曲率以及小孔平面結構移動,而不會壓碎或粘連在其表面上。圖11是Z軸伺服回應在平坦背景上高性能的表現。
True Non-Contact?模式可延長針尖使用壽命,改善樣品保存及精度
在True Non-Contact?模式中,探針**與樣品的距離在相互原子力的控制下,被成功地控制在幾納米之間。探針**振動幅度下,大大減少了探針與樣品的接觸,從而完好地保護了探針和樣品。
True Non-Contact? Mode
Tapping Imaging
樣品損壞更少,探針壽命更長
原子力顯微鏡探針的**十分脆弱,這使得它在接觸樣品后會快速變鈍,從而限制原子力顯微鏡的分辨率和圖像的質量。對于材質較軟的樣品,探針會破壞樣品,導致其高度測量不準確。相應地,探針保持完整性意味著顯微鏡可以持續(xù)提供高分辨率的**數據。XE系列原子力顯微鏡的真正非接觸模式能夠極大程度保護探針,從而延長其壽命,并減少對于樣品的破壞。下圖中以1:1的長寬比展示了XE系列原子力顯微鏡掃描淺溝道隔離樣品的未處理圖像,該樣品的深度由掃描電子顯微鏡(SEM)確定。在成像20次之后,探針幾乎有沒任何磨損。
Park XE15規(guī)格
XY掃描器
閉環(huán)控制的單模塊撓性XY掃描器
XY臺工作范圍 : 150 mm x 150mm Z臺工作范圍 : 27.5 mm 聚焦臺工作范圍: 20 mm
樣品表面和懸臂的直觀同軸影像
10倍物鏡(選配20倍)
視野:480μm x 360μm(10倍物鏡)
攝像頭:1M pixel,5M pixel(選配)
XEP 系統(tǒng)控制和數據采集的專用軟件
實時調整反饋參數
通過外部程序(選項)進行腳本級控制
高性能DSP:600 MHz,4800 MIPS
可達16個數據成像
數據尺寸:4096 x 4096像素
信號輸入:在500KHz取樣時,16位ADC的20個通道
信號輸出:500KHz取樣時,16位ADC的21個通道
同步信號:圖像結束,線結束及像素結束TTL信號
主動Q控制(選配)
懸臂梁彈性常數校準(選配)
電源:120W
信號處理模塊(選配)