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產(chǎn)品概覽 技術(shù)規(guī)格 資料下載 行業(yè)應(yīng)用
超高分辨率場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡 SU9000

專門為電子束敏感樣品和需*大300萬(wàn)倍穩(wěn)定觀察的先進(jìn)半導(dǎo)體器件,高分辨成像所設(shè)計(jì)。


特點(diǎn)

· 新的電子槍和電子光學(xué)設(shè)計(jì)提高了低加速電壓性能。
  0.4 nm / 30 kV (SE)
  1.2 nm / 1 kV (SE)
  0.34 nm / 30 kV (STEM)
· 用改良的高真空性能和無(wú) 與倫比的電子束穩(wěn)定性來(lái)實(shí)現(xiàn)高效率截面觀察。
· 采用全新設(shè)計(jì)的Super E x B能量過(guò)濾技術(shù),高效,靈活地收集SE / BSE/ STEM信號(hào)。