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產(chǎn)品概覽 技術(shù)規(guī)格 資料下載 行業(yè)應(yīng)用

針對失效分析和大樣本研究的原子力顯微鏡


作為一款缺陷形貌分析的精密測量儀器，其主要目的是對樣品進行缺陷檢測。而儀器所提供的數(shù)據(jù)不能允許任何錯誤的存在。Park NX20這款全球精密的大型樣品原子力顯微鏡，憑借著出色的數(shù)據(jù)準(zhǔn)確性，在半導(dǎo)體和超平樣品行業(yè)中大受贊揚。

    
大**的分析功能

Park NX20具備有一無二的功能，可快速幫助客戶找到產(chǎn)品失效的原因，并幫助客戶制定出更多具有創(chuàng)意的解決方案。

****的精密度為您帶來高分辨率數(shù)據(jù)，讓您能夠更加專注于工作。與此同時，真正非接觸掃描模式讓探針**更鋒利、更耐用，無需為頻繁更換探針而耗費大量的時間和**。

                      易于操作
ParkNX20擁有業(yè)界便捷的設(shè)計和自動界面，讓你在使用時無需花費大量的時間和精力，也不用為此而時時不停的指導(dǎo)初學(xué)者。借助這一系列特點，您可以更加專注于解決更為重大的問題，并為客戶提供及時且富有洞察力的失效分析報告。
為FA和研究實驗室提供**的形貌測量解決方案

樣品側(cè)壁三維結(jié)構(gòu)測量


NX20的創(chuàng)新架構(gòu)讓您可以檢測樣品的側(cè)壁和表面，并測量它們的角度。眾多的功能和用途正是您的創(chuàng)新性研究和敏銳洞察力所必備的。

對樣品和基片進行表面光潔度測量


表面光潔度測量是Park NX20的關(guān)鍵應(yīng)用之一，能夠帶來**的失效分析和質(zhì)量保證。

高分辨率電子掃描模式


QuickStep SCM

掃描式電容顯微鏡


PinPoint AFM
無摩擦導(dǎo)電原子力顯微鏡

多種獨有的磚利技術(shù)幫助顧客減少測試時間

CrN樣品所做的針尖磨損實驗


通過對比重復(fù)掃描情況下探針**的形狀變化，您可以輕易看到Park的真正非接觸模式的優(yōu)勢所在。

                

AFM測量


借助真正非接觸模式，探針**在掃描氮化鉻樣品（即探針檢測樣品）200次后仍可保持鋒利的狀態(tài)。

氮化鉻的表面粗糙且研磨性強，會讓普通的探針很快變鈍。


低噪聲Z探測器測量準(zhǔn)確的樣品表面形貌
沒有壓電蠕變誤差的真正樣品表面形貌
超低噪聲Z探測器，噪音水平低于0.02 nm,從而達到非常精準(zhǔn)樣品形貌成像，沒有邊沿過沖無需校準(zhǔn)。Park NX20在為您提供好的數(shù)據(jù)的同時也為您節(jié)省了寶貴的時間。
· 使用低噪聲Z探測器信號進行臺階形貌測量    
· 在大范圍掃描過程中系統(tǒng)Z向噪音小于0.02 nm
         · 沒有前沿或后沿過沖現(xiàn)象
· 無需校準(zhǔn)，減少設(shè)備維護成本

Park NX系列原子力顯微鏡



傳統(tǒng)的原子力顯微鏡